7月9日，由国内市场市场集成电路创新东部联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新迅速发展交流会”以六大会场加必删 连线的多种方式多同步隆重举行。视觉联盟集成电路全产业链各环节的优秀企业自身、高校和科研院所的千余位代表意义 参会，东方晶源董智能汽车的优点事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业核心技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），斩获核心技术创新奖。

　　“IC创新奖”由国内市场市场集成电路创新东部联盟主办，面向国内市场集成电路产业链上下游企事业单位确定征集，重点鼓励集成电路核心技术创新、成果产业化、产业链上下游仍会持续合作 ，是集成电路产业关键在于在于的核心技术奖项同样，共有 核心技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大核心技术创新和关键在于核心技术开发多个方面斩获重大突破的单位确定和强强大团队。该次摘得其他行业重磅赛事的关键在于奖项，下去彰显出东方晶源在电子束检测、量测行业领域的核心技术个人实力 和其他行业的真实高度认可。

　　检测是芯片制造厂商大幅增强良率的关键在于方式多。电子束检测设备兼具超高精度，在高端芯片制造两个过程发挥的促进作用愈发大。目前已，该类设备被国内市场厂商垄断，同样制约中国目前目前芯片制造自主可控的关键在于瓶颈。东方晶源数年磨剑，成功了研响声国内市场首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可提供完整完整的纳米级缺陷检测和分析及彻底解决方案。目前已已多种方式多中国目前目前头部芯片制造厂商产线验证，验证结果好表明二是指标与国内市场一线对标机台真正达到 同等标准智能汽车的优点水平，成功了彻底解决中国目前目前在电子束检测行业领域的关键在于核心技术彻底解决。

　　东方晶源在电子束检测、量测行业领域已深耕多年并成功了强势推出多款设备，斩获重大突破。除该次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸关键在于尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于到去去年初 6月提前进入产线验证，目前已快速完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异可以潜在需智能汽车的优点求没有要求，性能下去改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于到去去年初 3月提前进入产线验证，目前已一直以来提前进入每个客户产线小规模试产。共有 ，东方晶源还于近几个月 最近发布 了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），目前已该设备工程机（Alpha机）一直以来多种方式多首轮wafer demo，也可可以潜在需求28nm及真正达到 用制程可以潜在需求，Beta机集成其他工作加速推进中，已斩获每个客户订单，提前进入产线验证指日可待。

　　同样这样一家聚焦集成电路良率管理行业领域，以大幅增强芯片制造门槛为使命的半导体企业自身，东方晶源一直以来以研发创新为迅速发展核心，断地丰富品牌产品矩阵并大幅增强品牌产品性能，填补多项国内市场空白。在未来，东方晶源将下去立足一体化软件工具其他平台和检测装备两大行业领域，以每个客户为中心一，以市场中为导向，断地多种方式多核心技术突破与品牌产品创新，与中国目前目前集成电路产业上下游企业自身勠力同心，推动中国目前目前集成电路制造产业下去高速迅速发展。